За чей счёт осуществляется материально-техническое и финансовое обеспечение деятельности МФЦ по приёму заявлений на предоставление государственных услуг, услуг по передаче документов и выдаче их результатов?

Правильный вариант: МФЦ и его филиалов.

Материально-техническое и финансовое обеспечение деятельности многофункционального центра осуществляется за счёт средств бюджета соответствующего муниципального образования либо субъекта Российской Федерации, то есть за счёт средств самого МФЦ и его филиалов.