One of the main advantages of X-ray maskless lithography is that it allows for production of circuits of higher ....

Решение:

Основное преимущество X-ray maskless lithography (рентгеновской литографии без маски) заключается в возможности производства схем с более высоким разрешением и плотностью, что позволяет создавать более сложные и производительные микросхемы.

Ответ: resolution and density.